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低溫陽極鍵合技術(shù)研究

本文檔由 renl777126 分享于2011-03-01 19:29

低溫陽極鍵合技術(shù)研究,通過鍵合溫度220~250℃、鍵合電壓400~600v的硅玻璃低溫...現(xiàn)在中國科學技術(shù)大學攻讀碩士學位,主要研究方向是微系統(tǒng)封裝技術(shù)。...
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科技 教育 論文
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鍵合技術(shù) 陽極 低溫 鍵合 硅片 鄔玉亭
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