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薄膜材料與薄膜技術(shù) 第三章 薄膜的物理制備方法-濺射

本文檔由 資料一籮筐 分享于2011-03-26 13:58

本課件講解了薄膜制備的濺射、離子鍍、離子束增強(qiáng)沉積等物理制備技術(shù)。
文檔格式：
.ppt
文檔大?。?/dt>
10.37M
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69頁
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高等教育  —  大學(xué)課件
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薄膜材料 薄膜技術(shù) 薄膜制備 物理制備 濺射 離子鍍 離子助 氣相沉積 大學(xué)課件
系統(tǒng)標(biāo)簽：
濺射 薄膜 制備 物理 靶材 轟擊 高等教育 大學(xué)課件
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