薄膜材料與薄膜技術(shù) 第三章 薄膜的物理制備方法-蒸發(fā)
本文檔由 資料一籮筐 分享于2011-03-26 14:14
本文介紹了薄膜的物理制備的真空蒸發(fā)方法，包括真空蒸發(fā)原理、蒸發(fā)源的蒸發(fā)特性及薄厚分布、蒸發(fā)源的類型、合金及化合物的蒸發(fā)、膜厚和淀積速率的測(cè)量與監(jiān)控等內(nèi)容。
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