非晶硅薄膜太陽能組件規(guī)格書
本文檔由 hodongi2 分享于2011-04-12 10:35
非晶硅薄膜太陽能組件規(guī)格書本發(fā)明公開了太陽能應(yīng)用領(lǐng)域一種太陽能電池制作方法,本發(fā)明按生產(chǎn)過程依次為如下六個(gè)步驟z 前道化學(xué)預(yù)處理:半導(dǎo)體PN 結(jié)的制作:電感偶合等離子( ICP) 刻蝕周邊:淀積氨化硅薄膜:絲網(wǎng)印刷正、背面電極:正、背面電極金屬化及氨化硅薄膜燒穿。鋁漿小窗口處印刷采用銀鋁漿,保證了小窗口也同樣獲得鋁背場(chǎng)的結(jié)構(gòu),并且實(shí)現(xiàn)了鋁漿小窗口處的三價(jià)鋁對(duì)五價(jià)磷的補(bǔ)償作用,同時(shí)本發(fā)明也對(duì)燒穿氨化硅薄膜..