本課程前面主要介紹與薄膜生長相關(guān)的比如表面結(jié)構(gòu)、表面輸運。重點介紹薄膜沉積熱力學(xué)和動力學(xué)過程，薄膜沉積的各種技術(shù)及表征手段。并對目前的熱門薄膜材料及薄膜加工工藝進行介紹。課程主要涉及無機功能薄膜。