<薄膜生產(chǎn)工藝技術(shù)>外延薄膜中的缺陷
本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:22
點(diǎn)缺陷：空位，間隙原子，替代雜質(zhì)原子，間隙雜質(zhì)原子線缺陷：刃型位錯(cuò)，螺型位錯(cuò)，層錯(cuò)面缺陷: 孿晶界，小角晶界，共格晶界……金屬，半導(dǎo)體：不同的結(jié)構(gòu)不同的特性表面點(diǎn)缺陷，表面線缺陷
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