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薄膜制備技術

本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:47

薄膜生長方法是獲得薄膜的關鍵。薄膜材料的質量和性能不僅依賴于薄膜材料的化學組成，而且與薄膜材料的制備技術具有一定的關系。
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薄膜 制備 蒸發(fā) 鍍膜 離子束 沉積
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