薄膜物理與技術(shù)
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真空科學(xué)與技術(shù) 1. 真空的基本知識(shí) 2. 真空的獲得（各種真空泵原理、結(jié)構(gòu)及應(yīng)用） 3. 真空的測(cè)量原理 4. 真空系統(tǒng)的組成、檢漏及流導(dǎo)的計(jì)算
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