CN200410043527.9-用以形成薄膜的可在基片和防鍍片之間改變距離的噴鍍?cè)O(shè)備
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本專利介紹用以形成薄膜的可在基片和防鍍片之間改變距離的噴鍍?cè)O(shè)備。
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