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SiC(碳化硅)晶體生長爐控

本文檔由 chensha2012 分享于2010-09-09 12:40

將HOLLiAS-LEC G3 小型一體化 PLC 應(yīng)用于 SiC 晶體生長爐控制系統(tǒng),根據(jù)碳化硅晶體生長工藝要求,提供了一種降低成本,增加可靠性的運動控制方 案. 該晶體生長爐運動...
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晶體生長 sic 碳化硅 器件 hollias lec
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